半導体製造装置・改善アイテム

AMAT P5000 ROBOT O/H

Features/Benefits
● 高屈曲性リボンケーブルの採用

フラットケーブル(34,16pos)は高屈曲性長寿命のリボンケーブルを採用しています。
「この高屈曲性長寿命ケーブルは、直径44.5 mm (1 3/4 インチ)で1 億回の利用が可能。
高強度銅合金の19 ストランドで構成されており、動力系用途において最長の屈曲寿命。
絶縁抵抗>1 x 1010 Ω / 10 フィート(3 m) 高屈曲性:UL 認定」


● P5000 実機による動作試験
オーバーホール後の動作チェックはP5000 実機にて行います。
お客様と同じ環境下に於いて、問題ない事を確認し出荷致します。
● ホームセンサー(Ext、Rot)の変更
外部ノイズに強く、信頼性の高い国内メーカー品へ変更します。
(*Chopper Drive PCB からのノイズにも影響を受けません)
AMAT P5000 ROBOT O/H

AMAT P5000 DC P/S 【KAE-061-00】

P5000 DC P/Sの改善品を御案内します。

Features/Benefits
●従来のパワーサプライは故障が多く、部品入手も困難でダウンタイムが長期になります。 今回、故障頻度の特に多い24V、及び48V P/Sを、性能・信頼性の高い国内メーカー品へ変更することで故障率の低減を図ります。

● 新たに大型空冷AC-FAN、及びメーカー推奨EMC対策用ノイズフィルタを増設します。
P5000 DC P/S

P5 VME P/S【 KVPS-P5 】/ AMAT P5000 (20Slot)VME P/S

P5000 VME P/S(+5V、±12V)の代替品を御案内します。

特徴 & 利点 / Features & Benefits 
● 性能・信頼性のある国内メーカー品を使用。
● 電源容量に余裕をみた選定を実施しています。
( +5V : 60A、 +12V : 13A、 ±12V : 6.4A )
● メーカー推奨、EMC 対策用ノイズフィルタをセットにしました。
● AC ラインケーブル、フィルタ中継ハーネス、P/S 端子台の配線を御準備しましたので、
交換は短時間で行えます。


交換品一式

P/S 接続端子部

P/S 取付け位置

ノイズフィルタ取付け位置
御注文納期
● 約 1ヶ月
 

ハードディスク(フラッシュメモリ)

特徴 / Features
● フラッシュメモリを使用したSCSI ハードディスク型の記憶デバイスです。
● 従来品SCSI ハードディスクとの置き換えが簡単に行えます。

利点 / Benefits
● ハードディスクのような回転体がない為、急な故障の心配がありません。
● 発熱が無く低消費電力ですので、長時間運用に向いています。


製品仕様


AMAT DPS Source Match コンタクト部改善 “KDPSCNT”



① アース部・・・純正品 : アルミ製 ⇒ 改善品 : 真鍮(銀メッキ処理)
効果 : 導電性向上

② 中心電極・・・純正品 : 銅 ⇒ 改善品 : ばね用銅(銀メッキ処理)
効果 : 接触性 及び 導電性向上

③ テフロン絶縁部・・・純正品 : 内部テフロン厚 3mm ⇒ 改善品 : 内部テフロン厚 7.5mm
効果 : 耐圧製向上

AMAT Centura DPS Souce Match

ポテンショカップリング改善改造を御案内します。

1.主な故障の原因
◆ポテンショメータの破損
 ポテンショメータのシャフトの中心がカップリングに対しズレがあるためポテンショメータシャフトに負荷がかかり故障に至るケースが多発しております。
 ・取付ブラケットの精度が悪い
 ・純正ポテンショカップリングが硬い
 ポテンショメータが故障すると、バリコンの位置検出が出来なくなりモーター制御ができず、バリコンのカップリングの破損もしくはバリコンの故障に至ってします。

 

2.改善内容
◆ポテンショメータの取付方法の変更
弊社では最初にカップリングをフレキシブルタイプに変更しましたがブラケットのズレをカバーしきれず短期間で故障に至ってしまいました。この経験を踏まえ、改善の改善として1:1のギアを採用いたしました。 
 
          

Lamp Monitor 【 KLAMP-02 】/ AMAT P-5000 LAMP MONIT

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● Lamp Module のランプ切れを監視しLED 表示します。
・LAMP MONITOR BASE には各Chamber、ランプ毎(14 本)にLED を配列する事で各相のランプ切れ状態が容易に判断でき、製品処理中にランプ電流値のバランスエラーによりプロセス中断される事を事前に防止できます。
・LED の光量は、ランプのPowerに比例し変化します。
・ランプ切れがピンポイントで判明できる事で、メンテナンスの判断基準として有効利用出来ます。


LAMP MONITOR BASE(2Ch 仕様)

ランプ点灯時

セットアップ例

製品一式
 
外形寸法:90mm(H)×350mm(W)×350mm(D) ※突起物を除く
付属品
・MONITOR BASE 本体 1 台
・センサー部接続ケーブル(10m)×2 本
・電流検出センサー 14 個×2CH=28 個
御注文納期
● 約 1 週間
 

Novellus Concept-One One Arm Robot 【KLC-008-30】

ステッピングモーターの生産終了に伴い、国産モーター化 Ver,Ⅲについて。
特徴 & 利点 / Features & Benefits
● 過負荷アラーム
最大トルクを超える負荷が0.3sec以上加わった場合、アラームを発生させ、モーターの励磁をフリーにします。
●発熱低減・省エネルギー
モーター、ドライバの高効率化により、大幅に発熱が低減されています。
消費電力は従来比66%減
KLC-008-30

【国産モーター化 Ver,Ⅲについて】
 (弊社Ver,Ⅱロボットと基本仕様に変更はありません。)


1.脱調しません
オリエンタルモーター社製の新開発モーターを採用し、脱調しそうになると即座にクローズドモード制御を行います。(モーターにローター位置検出センサーが内蔵され、回転速度・回転量を監視しています)
null

2.アラーム(保護機能)
*ドライバ アラームLEDの点滅回数で異常状況を特定できます

点滅回数 機能 作動条件
2 加熱保護
過負荷
速度過剰
指定パルス異常
ドライバ内部の温度が85℃を超えた。
最大トルクを超える負荷の累積値が設定値以上加わった。
モーター出力軸の回転速度が4500r/minを超えた。
指定パルスの周波数が仕様値を超えた。
3 過電圧保護
主電源エラー
不足電圧
AC200Vを印加した。
主電源が遮断されている時にモーターを起動した。
主電源が瞬間的に遮断された。または電圧が不足した。
4 位置偏差過大 指令位置と実位置の偏差が設定値を越えた。
5* 過電流保護
動力系回路異常
モーター、ケーブル、及びドライバ出力回路が短絡した。
モーターケーブルが断線した。
7 運転データ異常 運転データ異常ワーニングが発生している時に、原点復帰運転を行った。
8 センサエラー モーター回転中、または電源投入時、センサーに異常が発生した。
9 EEPROMエラー ドライバの保存データが破損した。
* 過電流保護と動力系回路異常はリフトモータードライバのみです。

3.リフトモーターの電磁ブレーキ仕様
従来のブレーキパッド仕様では、消耗度・負荷からくるスプリング圧調整に難がありモーター動作の安定性に欠けていました。
電磁ブレーキタイプへ変更することにより安定した動作が得られ、パッドの交換・調整が不要になります。
* アラーム発生時、リフトモーターはフリーになり、電磁ブレーキで保持します。

AUTOMATCH KAM-SP201CLN For C2 Speed

特徴 & 利点 / Features & Benefits
●反射波によるRF電源へのダメージ低減
●ミスマッチによるエッチレートのバラつき減少
●クリーニングプロセスの安定化
●わずらわしい手動チューニングを解消 (→ 装置立上げ時間の短縮)

Views



Schematic of the network circuit



整合範囲



反射波の比較



パーティクルデータ (STI)

Spindle 改良品 【 KSFJ-C1D 】/ Novellus C1-D Spindle Indexer 改良品

特徴  / Features
● フローティングジョイントをシリンダ軸へ追加する事により、芯ズレを吸収します。
● フォトセンサーを性能の高い国産品へ変更します。(ON/OFF をLED で確認できます。)
● センサーラインに中継コネクタを設けることでメンテ作業の改善を図ります。

利点 / Benefits 
● 細かいスピコン調整が可能になり、スムーズな上下動作を長期で持続できます。
● エアシリンダー、ベアリング等の消耗度が減り、MTTFに貢献します。
● リアクターチャンバー内での搬送トラブル低減に寄与します。



 
               追加/交換パーツ一式

Concept-One DC P/S “KQPS-C1”

Concept-One DC P/S(QUAD & 24VDC)の代替品を御案内します。

Features/Benefits
● 電源は、性能・信頼性のある国内メーカー品を使用。
● 電源容量に余裕のある選定を実施しています。
 ( +5VM:60A、+5VT:26A、±15V:10A、+24V:14A )
● P/S固定用プレート+端子台(タッチダウン形)のアッセンブリでご提供致します。
 *標準ワイヤーをそのまま取付けられ、短時間で交換可能
● 安全性を考慮し、QUAD P/S上部へ保護カバーを設けました。



C1 DC Power Cableリペア【 KPBC 】/ Novellus Concept-One Power Board Cable Assy

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● 使用経過年数(熱)によるケーブル被膜の劣化による絶縁不良が発生。
古いケーブルASSY を全て取り外し、新規改良ケーブルに交換により正常動作を確保。
装置側過電流防止ヒューズの他にケーブル中継部に新規ヒューズボックスを取付けた事で更に安全性を高めます。


ケーブルASSY

ケーブル末端(12 本

過電流防止用ヒューズボックス

装置電源既存ケーブル

装置既存Multibus Power PCB 裏面
 
装置電源改良ケーブル

改良後 Multibus Power PCB 裏面
ケーブル仕様 ※ ケーブル長 L=3000mm 耐熱 60℃ 耐圧 600V
2sq 5VT 5.5sq +15V
  5V(+S)   -15V
  5V(-S)   +15V RTN
  5V RTN T   GND ストライプ
  +24V 14sq 5V M
  -24V   5V RTN
御注文納期
● 約 1 週間
 

Novellus Concept-One Backside Monitor “KVGM-1/KVGM-2”

Features and Benefits
●Concept-One バックサイド側 表示液晶モニター 及び 2点プッシュ式切替機構。
 ➢15インチVGA液晶モニターを採用。
 ➢切替部を 旧)機械式⇒新)プッシュ式へ改良。



◎バックサイド設置外観≪KVGM-2 (フロッピー有タイプ)≫



    ◎液晶表示部設定ボタン            ◎2点プッシュ式切替器(フロント/サイド)

◎LCD Monitor Spec 


◎付属品
・ビデオ信号ケーブル(Front)1.0m×1本
・ビデオ信号ケーブル(Side)1.0m×1本

Concept-One APCコントローラー “KAPC-C1D”

Concept-One AC-2/ACR-28の代替品を御案内します。

Features/Benefits
● C1-D標準仕様のAC-2/ACR-28は、現在 製造中止品となっており、装置メーカー代替え品につきましてはかなり高額となります。修理は未だ可能ですが、一部部品の入手不可、又 経年劣化の影響で安価では収まらなくなってきています。
● 機能的には今までと同様、互換品となります。
 * 装置側通信ソフト対応の為、内部改良していますのでC1-D専用となります。
● 取付けパネル一式でご準備しましたので、短時間で交換が可能です。


Top/Bottom Plateリペア【KTPW】/ Novellus Concept-One Top/Bottom Plate Waterline O/H

特徴  / Features
● 経年劣化により既存の銅製冷却水配管が腐食を起こし、漏水が発生します。
● 純正品(新品)では高額になります。 “約150 万円!”

利点 / Benefits
● 冷却水流量、冷却効率UP。
● 現使用プレートを引取り、再加工する事で大幅なコスト削減。



御注文納期
● 約 3週間

Trazer AMU2-1改善改造 “AMU2-1K”

●改善項目
①現行でセラミックコンデンサ(100pF×9個)が実装されているが発熱によりロウ付けの剥離、焼損等不具合が多発の為、耐久性UPのセラミックコンデンサ(150pF×6個)に変更
②出力トランスリペアを実施
③エアバリコンのコンタクト部強化⇒エアバリコンコンタクト部で電気的接点不良を起こしベアリング部に電流が流れてしまい焼損に至る為、軸部ベアリング及び接点を交換
④モーター(純正同品)及びモーター用プーリー(国産改良品)を交換
⑤タイミングベルト(国産準拠品)を交換





作業の流れ



➢御注文納期 約3~4週間